Design und Herstellung hochwertiger Verteiler mit optimierten Strömungseigenschaften, die den Druckabfall, mechanische Störungen und Vibrationen reduzieren
90 %
Demonstrierte Reduzierung der strömungsinduzierten Störkräfte
20+
Teilemontage in einem einzigen, zuverlässigen, monolithischen Teil

Optimierte Strömungseigenschaften und reduzierter Druckabfall, weniger mechanische Störungen und Vibrationen

Die Vorteile der additiven Metallfertigung

  • Design-Flexibilität „Function over Form“

    Die additive Fertigung ermöglicht optimale Designschritte, beschleunigte Iterationen und die schnelle Herstellung von Verteilern mit komplexen Freeform-Kanälen, die Turbulenzen und Druckschwankungen verringern und gleichzeitig durch die Konsolidierung von Teilen das Gewicht und den Platzbedarf verringern.

  • Halbleiter-DMP-Verteiler in 3DXpert
  • 3d systems laserform ti gr5 (a) dmp hydraulic manifold gf post machined alternate
  • Hohe Qualität und Genauigkeit für Reinraumumgebungen

    Die hohe Materialqualität und Teilegenauigkeit, die in einer inerten Atmosphäre mit einem konstanten, ultraniedrigen Sauerstoffgehalt erzielt werden, führen in Verbindung mit proprietären Prozessen, die optimale Partikelsauberkeit ermöglichen, zu Metallteilen, die Reinraumanforderungen entsprechen und für den Einsatz in Halbleiteranlagen geeignet sind.

  • Ein Mitarbeiter neben einem 3D-Drucker
  • Leistung und Produktivität

    Die Reduzierung der strömungsinduzierten Störkräfte um 90 % führt zu geringeren Systemvibrationen und einer Verbesserung der Genauigkeit um 1 - 2 nm. Eine höhere Maschinengeschwindigkeit und längere Verfügbarkeit bedeuten, dass mehr Wafer verarbeitet werden können und die Investitionsrendite steigt. Die additive Fertigung bietet außerdem strukturell optimierte Verteiler, die weniger Teile und Baugruppen erfordern. Mehrteilige Baugruppen werden durch monolithische Teile ersetzt, wodurch die Zuverlässigkeit verbessert, die Produktionsmenge erhöht und Arbeitskosten reduziert werden.

Lösungen für Probleme mit Flüssigkeitsströmen

  • Weniger Störungen des Flüssigkeitsstroms

    Verteiler mit optimal konstruierten und angefertigten Strömungskanälen sind unverzichtbare Bestandteile in den Produktionsgeräten für Halbleiter. Konventionelle Fertigungsmethoden führen zu abrupten Ecken und stagnierenden Strömungszonen, die Turbulenzen und größere Druckverluste bewirken. 

  • Geringeres Gewicht und Volumen

    Die geometrischen Beschränkungen der konventionellen Fertigungsverfahren beim Fräsen und bei der Werkzeugbereitstellung können dazu führen, dass Verteiler mit überhöhtem Gewicht und Volumen entstehen, was sich wiederum negativ auf die Systemleistung auswirkt.

  • Keine Flüssigkeitsleckagen an den Verbindungsstellen

    Für die in subtraktiver Fertigung hergestellten Verteiler sind aufgrund der geometrischen Beschränkungen typischerweise Montageschritte notwendig, für die fehler- und leckanfällige Verbindungspunkte vorhanden sein müssen.

Weitere Halbleiteranwendungen

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