Verbessern Sie die Produktleistung und Mischeffizienz, erhöhen Sie die Zuverlässigkeit und senken Sie die Herstellungskosten, indem Sie den direkten Metalldruck nutzen, um mit optimierten Formfaktoren und effizienteren Gaswegen zu produzieren
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Bauteilreduzierung
100 %
lecksicher
3x
effizienter

Reduzieren Sie die Teileanzahl bei gleichzeitiger Verbesserung der Gasförderung und Mischleistung

Ein 3D-gedruckter Gasmischer

Querschnitt eines Gasmischers mit aktiver Kühlung, der mit 3D-Metalldruck gefertigt wurde

Das Fördern von ätzendem Gas in eine versiegelte Prozesskammer ist typisch für Nassverarbeitungssysteme wie das Reinigen und Ätzen in Halbleiterfertigungsanlagen. Daher ist eine effiziente Förderung von Gasen, unabhängig davon, ob sie getrennt bleiben oder gemischt werden müssen, ohne Lecks, mit begrenzten Strömungsturbulenzen und durch feinste Öffnungen in der Prozesskammer von entscheidender Bedeutung. Dies erfordert komplexe Mehrkomponenten-Gasmischer und Baugruppen für die Gaszufuhr aus korrosionsgasbeständigen Materialien.

All dies kann mit Lösungen für den 3D-Direktmetalldruck und entsprechendem Fachwissen von 3D Systems für Halbleitergeräte optimiert werden. Gasfördersysteme können mit weniger Komponenten entworfen werden, so dass sie bei höherer Zuverlässigkeit weniger Platz beanspruchen. Darüber hinaus können diese optimierten Produkte in kürzerer Zeit entwickelt werden: Sie können also effektivere Komponenten erzeugen und sie schneller auf den Markt bringen.

Die Vorteile der additiven Metallfertigung

  • Flexibilität beim Halbleiterdesign – Gasförderung

  • Designflexibilität

    Die additive Fertigung ermöglicht es, Gaszuführungen und Mischer auf engstem Raum optimal zu entwerfen, schnell zu iterieren und herzustellen, mit digital modellierten Gaswegen, die Gase zuverlässig transportieren und auf dem Weg zur Prozesskammer effizient mischen.

  • Reinraumumgebungen in der Halbleiterfertigung

  • Hohe Qualität und Genauigkeit für Reinraumumgebungen

    Die inerte Atmosphäre mit einem konstanten, äußerst niedrigen Sauerstoffgehalt führt zu einer hohen Materialqualität und Teilegenauigkeit. In Verbindung mit proprietären Prozessen für optimale Partikelsauberkeit können so Metallteile gefertigt werden, die Reinraumanforderungen entsprechen und für den Einsatz in Halbleiteranlagen geeignet sind.

  • Leistung und Produktivität

    Eine Reduzierung der Strömungsturbulenzen des Gases ermöglicht eine genaue und gleichmäßige Verteilung von Reinigungs- und Ätzgasen und erhöht die Gesamtsystemeffizienz sowie den Durchsatz zur Verarbeitung von mehr Wafern. Die additive Fertigung bietet außerdem strukturell optimierte Gas-Speiseleitungen, die weniger Teile und Baugruppen erfordern. Beim 3D-Druck werden mehrteilige Baugruppen durch monolithische Teile ersetzt, wodurch die Zuverlässigkeit verbessert, die Produktionsmenge erhöht und Arbeitskosten reduziert werden.

Optimierung von Gasförderung und ‑mischung

  • Verbesserung der Gasflusseffizienz – Gasförderung

    Verbesserung der Effizienz des Gasflusses

    Die additive Fertigung bietet Ingenieuren, die im Bereich Halbleiteranlagen tätig sind, beispiellose Designflexibilität. Sie sind in der Lage, neue interne Muster, Düsenformen und Mischkammern zu entwerfen und so den Gasfluss und das Mischen für maximale Leistung und Effizienz zu optimieren.

  • ein Techniker hält einen Wafer in der Hand

    Höhere Betriebssicherheit

    Die additive Fertigung bietet außerdem strukturell optimierte Gaszuführungen und ‑mischer, die weniger Teile und Baugruppen erfordern. Dies erhöht die Zuverlässigkeit der Komponenten erheblich, da ein Austreten von Flüssigkeit an Verbindungen unter den höchsten Temperaturen und Betriebsdrücken aufgrund der höheren Integrität der Komponenten vermieden wird.

  • Halbleiter-Gasmischer mit Lineal

    Minimierung des Volumens

    Dünnere Wände und Teilekonsolidierung sorgen für eine leckdichte Integrität und ermöglichen eine effizientere Funktionalität bei geringerer Baugröße. Erstellen Sie mehrachsige Merkmale und eingeschlossene Volumen – und das viel einfacher im Vergleich zu herkömmlichen Fertigungsprozessen

Ressourcen

  • ebook über Halbleiter, Cover

    Schnelle Einführung und Skalierung der additiven Fertigung von Metallen

    In diesem eBook erfahren Sie, wie die jahrzehntelange Erfahrung und das Fachwissen von 3D Systems zur Einbindung der additiven Metallfertigung beitragen, mit der Hersteller und Zulieferer von Fertigungsanlagen für Halbleiter ihre Leistung, Produktivität und Zuverlässigkeit verbessern können.

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  • Silizium-Wafer und Mikroschaltkreise auf einem Roboterarm

    Additive Fertigung für Halbleiter-Produktionsmittel

    Entdecken Sie, wie die additive Metallfertigung von 3D Systems Herstellern und Zulieferern von Halbleiterfertigungsanlagen genau die Möglichkeiten bieten kann, die sie zur Verbesserung von Leistung, Produktivität und Zuverlässigkeit brauchen.

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