Nutzen Sie Techniken zur Teilekonsolidierung, neuartige Kühlstrategien und komplexe Düsenformen, die durch den Direktmetalldruck ermöglicht werden, um zuverlässige Halbleiter-Showerheads mit hoher Geschwindigkeit herzustellen
75 %
Reduzierung der Produktionszeit von Komponenten
0,6 mm
Lochdurchmesser
4:1
Reduzierung der Teilezahl

Höhere Präzision und Gleichmäßigkeit der Materialabgabe für diesen Showerhead bei gleichzeitiger Verringerung der Vorlaufzeiten

Ein 3D-gedruckter Showerhead mit einem Lineal darüber, das die Abmessungen anzeigt

3D-gedruckter Showerhead aus Metall mit mehr als 480 mm Durchmesser auf der Bauplatte

Showerheads („Duschköpfe“) werden üblicherweise bei der Halbleiterherstellung zur gleichmäßigen Materialabgabe verwendet. Ihre Lochkonfiguration und Temperaturstabilität sind wichtige Faktoren für die Gleichmäßigkeit der Abgabe.

Mit unseren additiven Fertigungslösungen für Metall können Sie Geometrien liefern, die mit herkömmlichen Methoden nicht hergestellt werden konnten, z. B. nicht zylindrische Düsengeometrien für die Steuerung der Abgabe, komplexere Kühlkanäle zur Wärmeabfuhr und konsolidierte Komponenten zur Vermeidung von Leckagen. Tausende kleine Löcher können mit vernachlässigbaren Auswirkungen auf Kosten und Produktionszeit in 3D gedruckt werden.

Die Vorteile der additiven Metallfertigung

  • Halbleiter verbessert die Gasflusseffizienz

  • Designflexibilität

    Die additive Fertigung bietet Ingenieuren, die im Bereich Halbleiterausrüstung und Wärmemanagement tätig sind, beispiellose Designflexibilität. Diese ermöglicht ihnen die Entwicklung integrierter Kühlkanäle mit deutlich höherer Komplexität und eine Reduzierung der Anzahl der Teile und Baugruppen. Das Ergebnis sind eine einheitliche Materialabgabe und eine Maximierung der Zuverlässigkeit von Showerheads.

  • Mitarbeiter in Schutzbekleidung mit 3D-gedrucktem Teil

  • Hohe Qualität und Genauigkeit für Reinraumumgebungen

    Unsere Direktmetall-Drucklösungen ermöglichen die Produktion kleiner Löcher mit einem Durchmesser von nur 0,6 mm, sodass Sie hochpräzise, detaillierte Teile herstellen können. In Verbindung mit unseren firmeneigenen Verfahren für optimale Partikelreinheit, unseren korrosionsbeständigen Materialien und der inerten, extrem sauerstoffarmen Atmosphäre unserer Lösungen für die additive Metallfertigung stellen unsere Kunden Metallteile her, die Reinraumanforderungen erfüllen und für den Einsatz in Halbleiteranlagen geeignet sind.

  • Leistung und Produktivität

    Feine, komplexe Düsen im Showerhead, ein besseres Wärmemanagement und zuverlässigere, konsolidierte Komponenten tragen zu einer gleichmäßigen Materialabscheidung und letztendlich zu einer signifikanten Steigerung der Geschwindigkeit, Ausbeute und Betriebszeit Ihrer Halbleiterfertigungsanlagen bei.

Gleichmäßige Materialabgabe mit Halbleiter-Showerheads

  • Verbesserung der Kühlleistung

    Aufgrund des hohen Drucks und der Materialwärme können Showerheads erhebliche thermische Last ansammeln. Ein effizientes Wärmemanagement mit konsistenter Temperaturstabilität ermöglicht eine gleichmäßige Materialabgabe und wirkt sich positiv auf die Gesamtprozessgenauigkeit aus.

  • ein Techniker hält einen Wafer in der Hand

    Höhere Zuverlässigkeit der Komponenten

    Durch Erzeugung monolithischer Showerheads entfallen Leckagen an Schweißnähten. Ohne Montage lässt sich eine hervorragende Kühleffizienz erreichen, was zu längeren Wartungsintervallen und maximaler Werkzeugverfügbarkeit führt.

  • eine Hand mit einer Sanduhr

    Kostengünstigere Showerheads in einem Bruchteil der Zeit

    Bei der additiven Fertigung wirken sich Änderungen an Form, Größe oder Menge der Düsen nicht auf die 3D-Druckzeit aus, was die Vorlaufzeiten drastisch reduziert und die Materialkosten im Vergleich zur CNC-Bearbeitung und anderen subtraktiven Lösungen senkt. Außerdem reduzieren monolithische Komponenten erheblich die Anzahl der Lieferanten, die für die Produktentwicklung und Serienproduktion erforderlich sind.

Ressourcen

  • ebook über Halbleiter, Cover

    Schnelle Einführung und Skalierung der additiven Fertigung von Metallen

    In diesem eBook erfahren Sie, wie die jahrzehntelange Erfahrung und das Fachwissen von 3D Systems zur Einbindung der additiven Metallfertigung beitragen, mit der Hersteller und Zulieferer von Fertigungsanlagen für Halbleiter ihre Leistung, Produktivität und Zuverlässigkeit verbessern können.

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  • Silizium-Wafer und Mikroschaltkreise auf einem Roboterarm

    Additive Fertigung für Halbleiter-Produktionsmittel

    Entdecken Sie, wie die additive Metallfertigung von 3D Systems Herstellern und Zulieferern von Halbleiterfertigungsanlagen genau die Möglichkeiten bieten kann, die sie zur Verbesserung von Leistung, Produktivität und Zuverlässigkeit brauchen.

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